一篇文章看懂：什么是SENIS完全集成3軸磁傳感器？

為了測量電磁鐵和永久磁鐵產生的從 10^-6 到 10² T 的非均勻磁通密度，通常使用帶霍爾探頭的特斯拉計。為了同時測量磁通密度的三個正交分量，需要使用三軸霍爾探頭。根據目前傳統的的技術水平，三軸霍爾探頭由三個霍爾板組成，這三個霍爾板分別位于一個小立方體的三個相互正交的面上。單個霍爾板的尺寸及其定位公差嚴重限制了可實現的空間分辨率和測量磁通密度矢量的角度精度。此外，連接霍爾裝置的導線中的電磁感應也限制了這種霍爾探頭的有用帶寬。此外，平面霍爾效應通常會產生額外的誤差。在基于量子阱的霍爾板中，平面霍爾效應很弱，但問題依然存在。

為了解決這個問題，在一個點上檢測三個方向的磁性。SENIS開發了一種劃時代的“完全集成3軸磁傳感器”，使之成為可能。這就是“完全集成的三軸磁傳感器”。 該傳感器可以在所有情況下測量精確的3D矢量，例如永磁體的鄰近磁場、小線圈產生的磁場和時間變化，這在過去是不可能的。

圖1. 傳統的霍爾片3軸探頭（左）和SENIS完全集成3軸磁傳感器（右）

一、 完全專li技術的SENIS完全集成3軸磁傳感器

二、 SENIS完全集成三軸磁傳感器的功能

除了磁傳感器外，完全集成的3軸磁傳感器還集成了偏置電路和放大器，以提高頻率特性和抗噪性，甚至在寬度僅為 0.64 m 的單個芯片上集成了溫度傳感器，用于因溫度變化而進行靈敏度校正。

1.敏感區域僅為0.15mm × 0.1mm × 0.15mm

2.3個方向相對角度誤差在±0.1以內

3.頻率響應：高達25Khz（-3db）

4.溫度特性±100ppm/°C
 

三、 SENIS完全集成三軸磁傳感器放大圖
 

四．SENIS完全集成三軸磁傳感器詳細信息
 

圖2. 磁性傳感器內部有5個感磁區域。通過取BZ1和BZ2的平均值，虛擬地求出By傳感器位置的Bz磁場。同樣地，通過取Bx1和Bx2平均值來求出By傳感器位置的Bx磁場，可在同一點上收集Bx、By、Bz。
 

五．搭配SENIS完全集成三軸磁傳感器的霍爾探頭類型：
 

六．搭配SENIS完全集成三軸磁傳感器的高斯計/特斯拉計匯總類型：

SENIS數字特斯拉計/高斯計基于SENIS®的模擬磁場傳感器電子設備，其頂部添加了數字模塊，具有顯示器，通信端口，數字數據校正等。SENTIS提供不同類型的特斯拉計，具有不同的磁性分辨率，精度，f帶寬，噪聲水平和功能和處理選項（手持式，臺式，機架式）

3MH3特斯拉計，適用于工業和實驗室應用，具有良好的精度，分辨率和f帶寬

3MH6臺式特斯拉計，用于實驗室應用，具有非常高的分辨率和精度以及良好的f帶寬

3MTS 手持式特斯拉計，探頭支架堅固，精度高

1 軸、2 軸或 3 軸 Nanoteslameter 3NTA1，用于極低磁場
 

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