GreenTEG公司激光功率探頭(OEM功率計)特點及應用實例

一、激光功率探頭（OEM功率計）應用背景

隨 著人們生活水平和消費水平的提高，對產品和服務的要求也到達了一個新的高度。人們不再滿足于最初對產品的基本要求，比如激光精密加工行業，對產品的精度和 外觀要求非常苛刻。在一些可能危及人身安全的行業，人們對產品可能帶來的安全問題和負面作用要求更苛刻。比如激光醫療、激光美容和高功率激光加工行業。解 決這一問題的關鍵在于保證激光生產過程中輸出穩定的激光功率。在線實時監控激光功率，成為當下所有激光設備生產商面臨的首要問題。

激光功率探頭的出現徹底改變了原來簡單的工具式測量方式，激光功率探頭可以集成在激光加工設備中，在線實時對激光器輸出的功率做監測。隨著下游客戶對激光設備的要求越來越高。更多的激光設備生產商選擇在設備出廠前會集成一個激光功率探頭，也稱為OEM功率計。這是激光功率探頭得到廣泛應用的根本原因。

二、Green TEG激光功率探頭（OEM功率計）主要優勢

根據市場的需求，瑞士GreenTEG公司推出結構簡單，具有超高性價比的PCB基熱電功率探頭及芯片式功率探頭，其主要特點有：

1.價格低

2.體積小

基激光功率探頭由于沒有增加熱沉和表頭，體積要比常規功率計小。GreenTEG新推出的芯片式激光功率探頭和裝配式激光功率探頭更是將體積縮小到極限。僅有手機卡大小。在激光設備狹小的空間中能夠發揮無可替代的作用。

3． 測量精確

PCB基激光功率探頭雖然設計上省去了熱沉（可直接安裝在客戶提供的相應熱沉上），但絲毫不影響其測量的準確性及一致性。Green TEG PCB基激光功率探頭通過兩種方式完美的補償了基本功率變化帶來的測量誤差。第一種方法是在PCB鋁 基板上加裝了一個同樣規格的熱電堆探頭芯片作為基板溫度測量參考。測量功率值為兩塊熱電堆芯片信號的差值，這樣就完美補償基板溫度的變化，實現了真正的實 時補償。第二種方法是，在熱電堆功率探頭芯片旁增加了一個精確的熱敏電阻，通過急缺的計算實時校準基板的溫度，從而實現功率的實時校準。

三、激光功率探頭（OEM功率計）分類

GreenTEG激光功率探頭（OEM功率計）非常典型，分別推出了激光功率計裸芯片，PCB基激光功率探頭、裝配式和集成式功率探頭。按照集成程度可分為以下幾類：

1.裸芯片

圖1 GreenTEG公司B01-SC和B05-SC裸芯片

裸芯片是GreenTEG激光功率探頭中最初級的傳感片，探測器鍍膜以后直接輸出的是一種未校準的模擬信號。適用于設備集成需求量非常大的用戶，可以集成在功率計中，做成完整的功率計，也可以集成在激光光源當中，對光源直接實時監控。也可以用在激光系統中，客戶研發團隊要比較強大。

2.PCB基激光功率探頭

圖2 GreenTEG公司B01-SMC、B05-SMC和B05-MC基于PCB芯片式激光功率探頭

基于PCB的芯片式激光功率探頭在全球最受歡迎，在體積特別小的前提下，價格確很低。是激光醫療，工業激光設備制造商的最佳選擇。這種PCB芯片式激光功率探頭量程雖然比較小，但客戶一般會采用分光測量的方式將高至上千瓦的激光分出一小部分進行監測。而且此款功率探頭（OEM功率計）裝配簡單、方便，只需要將芯片固定在要求的熱沉上即可。

3.GreenTEG裝配式激光功率探頭（OEM功率計）

圖3 GreenTEG公司C50-MC裝配式激光功率探頭（OEM功率計）

裝配式激光功率探頭B50-MC適用于3D打印，激光醫療和激光鉆孔等工業領域。比起芯片式功率探頭，裝配式激光功率探頭的優勢在于量程范圍大，可覆蓋的激光功率范圍大。一般需要配套相應放大電路使用，輸出的模擬電壓信號和激光功率成線性關系。

圖4 GreenTEG公司AMP系列放大電路

AMP系列放大電路是裝配式功率探頭和PCB芯片式功率探頭的可選設備，根據放大倍數的需求，GreenTEG提供了三種可選的型號（AMP204/AMP2050/AMP2060）供客戶選擇，每個型號的增益系數不同。

4.GreenTEG金屬殼式激光功率探頭（OEM功率計）

圖5 GreenTEG公司金屬殼式激光功率探頭C05-HC和C100HW

GreenTEG金屬式激光功率探頭是一款較為完整的功率探頭，產品按照功率范圍可分為5W/10W/50W/100W四種，其中5W和10W的激光功率探頭采用的是普通熱沉冷卻，50W和100W的采用的是水冷方式冷卻。C50-HW和C100—HW都會帶水路接口，金屬式功率探頭直接將放大電路集成在里面，輸出的是校準和放大過的模擬信號，客戶可以直接將模擬的放大信號接在電壓計上讀出。這款功率探頭可以給客戶免去開發放大電路和集成的工序。

四、激光功率探頭（OEM功率計）應用方案

1. 利用激光腔鏡漏光監測功率

激光器的腔鏡雖然是一個全反鏡，但仍然會有一部分透射光，一般透射光比例為0.5%~2%之間。根據透射光和輸出光強度比例來監測功率的變化，該方案在國外有多種應用，既適用于激光源直接集成，也可以在激光加工系統中廣泛應用，比如高功率CO2激光切割系統就采用的是該方案。

2.激光器輸出后，移動反射鏡法檢測激光功率

激光功率探頭常常被集成在設備中對激光器的輸出功率做實時監控。主要是在兩個過程中發揮作用：激光加工之前，可以在很短的時間內預先判斷激光功率是否正常，如果不正常可以反饋給激光器做校準。激光加工過程中，可以實時對激光功率做監測。前者在激光3D打印，激光醫療領域意義重大，后者在激光精密加工行業應用廣泛，不影響生產效率。 

許多激光加工設備生產商在激光器輸出的光路上增加一個可移動的反射鏡來控制激光功率檢測。激光器開啟時，處于激光功率檢測模式，看激光功率是否正常，如果正 常就可以將轉鏡移動到光路上切換光路，進行加工。這種方案在激光醫療領域應用最多，要求檢測時功率探頭的響應時間必須很快，GreenTEG的激光功率探頭目前是熱電堆功率探頭行業中響應時間最快的產品，可達到0.1~0.2s。

這個方案的最大缺陷是加工的時候不能檢測，檢測的時候不能加工。

3.激光器輸出后，分光法監測激光功率

采用分光片，分出一部分光，或者在45度全反鏡后面檢測漏光的方法。這種方案可以實時檢測激光功率。而且當輸出的激光功率比較大的時候，我們現在用分光法，按比例分出來一部分光，通過監測這一部分激光的功率值來推算出整個輸出的功率。選擇功率更小的激光功率探頭（OEM功率計）可以大大的減少成本和因為增加熱沉帶來的體積。也不需要水冷裝置。我們強烈推薦此方案。然而，這個方案在科研領域應用是有局限性的，主要是客戶對精度的要求非常高，這種方案可能達不到。

五、激光功率探頭（OEM功率計）輸出電壓和功率的轉換關系

輸出電壓和功率具有線性關系，意味著每個產品出場后都會有一個標定系數。這個系數可以將電壓值轉換成激光輸出功率值。但是這個要求激光功率探頭的線性度必須非常好。

GreenTEG激光功率探頭擁有良好的線性度，在行業內受到一致好評，如下圖6

圖6 GreenTEG公司激光功率探頭輸出線性圖

此外，輸出的激光功率還會受到激光波長和溫度影響，一般來說GreenTEG激光功率探頭（OEM功率計）的校準波長是1064nm，如果您要用在532nm或者10.6um等其它波長上時，需要乘以系數。實時測量的過程中，任何一種熱電堆式激光功率探頭都會發熱產生熱漂移，GreenTEG激光功率探頭集成了一個熱敏電阻，通過測量輸出的阻值轉換成溫度系數，對溫度做補償。

六、GreenTEG激光功率探頭（OEM功率計）特點

1.價格超低

2.響應時間超快

開創性的將熱電堆式激光功率探頭響應時間提高至0.2S，特別是在利用移動轉鏡法檢測激光器輸出功率時，可以大大提高生產效率。如圖7

圖7 GreenTEG激光功率探頭響應時間曲線

3.體積超小

GreenTEG激光功率探頭（OEM功率計）最小尺寸僅有2mm×2mm。由于很多激光器廠家生產的激光源體積非常小，傳統功率探頭由于體積太大無法使用。GreenTEG在這個領域優勢非常明顯。

4． 適用波長范圍寬

GreenTEG熱電堆式激光功率探頭可覆蓋幾乎全波段的范圍。0.19um到15um.

近日上海昊量光電和GreenTEG簽訂了代理協議，由昊量光電全權負責Green TEG公司激光功率探頭中國大陸，香港以及澳門地區銷售，市場及技術支持等工作。

http://www.auniontech.com/n/news/v_Auniontech_and_Switzerland_GreenTEG_to_sign_an_agency_agreement.html

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